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    [分享]变倾角移相斜入射动态干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-22
    关键词: 干涉仪
    摘要:为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉方案。 基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用 2×2 点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移 相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个 CCD 上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量。在 68°斜入射角下测量了 口径 35 mm 硅片的平整度,均方根(RMS)值为 1.631 μm,峰谷(PV)值为 9.082 μm。实验结果表明,将变倾角同步移 相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围。 m6'YFpf)V  
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    关键词:干涉测量;斜入射;动态干涉仪;表面平整度 6RzTSb  
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    附件: 变倾角移相斜入射动态干涉仪.rar (1047 K) 下载次数:8 ,售价:2光币[记录]
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    cyqdesign 光币 +5 - 08-22
     
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    在线吴甜甜
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    只看该作者 1楼 发表于: 08-22
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    离线qiuyu
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