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    [分享]光刻机镜头设计 [复制链接]

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    离线hhxxgg00
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-03-29
    本文针对极大规模集成电路制造的工业化生产需求,开展面向 100nm 曝光节点的高数值孔径(NA)、深紫外(DUV)投影光刻物镜光学设计与仿真。即综合元件加工、检测、镀膜、光学材料、机械结构、照明系统以及分辨率增强等各项技术要求和约束,完成 NA0.75,工作波长 193nm(ArF)投影光刻物镜的光学设计。同时为最大限度地降低投影光刻物镜的制造成本并确保的各项性能指标,研究投影光刻物镜可能采取的像质补偿措施和方法。 bWEti}kW  
    CAJ文件 h#o?O k  
    长春光机所  博士论文 Rt=zqfJ  
    <]e0TU?bk  
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part1.rar (2048 K) 下载次数:297 ,售价:1光币[记录]
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part2.rar (2048 K) 下载次数:293 ,售价:1光币[记录]
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part3.rar (2048 K) 下载次数:289 ,售价:1光币[记录]
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part4.rar (192 K) 下载次数:172 ,售价:1光币[记录]
    1条评分光币+10
    cyqdesign 光币 +10 - 2013-03-29
     
    这个时代,每个人都在大声说话,每个人都在争分夺秒。我们用最快的速度站上高度。但是也在瞬间失去态度。当喇叭声遮盖了引擎声,我们早已忘记,谦谦之道才是君子之道。你问我这个时代需要什么,在别人喧嚣的时候安静,在众人安静的时候发声。不喧哗,自有声。
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    离线qsj98
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    只看该作者 1楼 发表于: 2013-03-29
    看看,学习学习.
    离线superyu2009
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    只看该作者 2楼 发表于: 2013-03-29
    谢谢 看看学习
    离线qsj98
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-03-29
    已回复却看不见博士论文 .
    离线qsj98
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-03-29
    博士论文可以看见了,谢谢.
    离线yu-xuegang
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    只看该作者 5楼 发表于: 2013-03-29
    学习学习。
    离线zanmous
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    只看该作者 6楼 发表于: 2013-03-29
    看看,谢谢,支持,顶!
    离线sms55
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    只看该作者 7楼 发表于: 2013-03-29
    学习学习
    离线vurtne_000
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    只看该作者 8楼 发表于: 2013-03-29
    支持一下 学习中
    离线小飞
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    只看该作者 9楼 发表于: 2013-03-30
    看看!!!!!!!!!!
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